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电子束光刻系统 - Electron Beam Lithography System

制品

CABL-UH(130kV)series

CABL-UH

CABL-UH 是更高阶的加速电压模型。您可以选择90kV,110kV或130kV。

光束直径 : <1.6 nmΦ
最小线宽: 7 nm (at 130kV)
相关电压: 130 kV, 110 kV 或
90 kV
作业平台尺寸: 8寸晶圆型号

CABL-9000C (50kV) series

CABL-9000C

它是用于光通信设备的DFB激光二极管生产的最佳模式。
我们实现了50kV的高分辨率和高吞吐量。

光束直径 : < 2 nmΦ
最小线宽 : 10 nm
相关电压 : 50kV, 30kV
作业平台尺寸 : 4寸, 6寸,
8寸 晶圆型号

光刻代工服务

受託加工サービス

Crestec公司提供EB光刻的代工服务。我们可以撰写DFB-LD生产的精细光栅图案,以及任何种类的研发图案。
我们有超过20年的电子束光刻经验。如您有极精细光刻图案需求,请随时与我们联系。

请随时与我们联系